ark6570@gmail.com
×

تقسیم کننده ولتاژ میکروالکترونیکی چگونه ساخته می شود (راهنمای تصویری)

حلقه ساخت یک سیستم میکروالکترومکانیکی
مدار یک تقسیم کننده ولتاژ روی ویفر سیلیکونی – مقاومت ها در شکل مشخص شده اند – خطوط باریک – دوتا از خطوط کوتاه تر هستند که نشان دهنده مقاومت های 1 کیلواهمی هستند و یک خط باریک بلندتر وجود دارد که نشان دهنده مقاومت 8 کیلواهمی است. دلیلش هم پیداست – تعداد زیادی از افراد را از یک راهروی خیلی باریک عبور دهید – مقاومت بالا است – یا مثلا جاده 3 بانده را تبدیل به دو بانده کنید تا ترافیک بیشتر شود. هر چقدر هم طول مسیر بیشتر باشد مجبورید بیشتر در ترافیک بمانید. خطوط پهن تر نشان دهنده سیم کشی هستند.
1- ویفر آغازی 2- رشد اکسید سیلیکون (یا یک عایق دیگر مثل سیلیکون نیترید) کافی است آن را درون کوره بگذاریم – (دلیل این کار: خود سیلیکون کمی رسانندگی دارد باید قبل از لایه نشانی روی آن عایق شود). 3- مقاومت را لایه نشانی می کنیم (در شکل قبلی مقاومت های 1 کیلواهمی مواد عایق باریک هستند که طول کمی دارند – برای مقاومت 8کیلواهمی کافی است طول ماده مقاومت را بلندتر انتخاب کنیم) 4-عملیات الگوسازی (Patterning) (از طریق هر ابزاری مثل لیتوگرافی نوری) و حکاکی (etching) جهت حذف بیشتر ماده مقاومتی اعمال می شود و دو جزیره جداگانه از مقاومت ها باقی می ماند که هر کدام یک مقاومت است. 5- دوباره روی مقاومت ها یک روکش عایق می کشیم و ارتباطشان را از هم قطع می کنیم. 6- حالا باید سیم کشی کنیم پس نیاز است که روی دسترسی دوباره به مقاومت ها پیدا کنیم – با همان مراحل الگوسازی و حکاکی دو تا حفره روی سر این مقاومت ها ایجاد می کنیم تا رهشان باز شود 7- حالا سیم کشی می کنیم – یعنی یک روکش فلزی روی کل لایه می کشیم تا مقاومت ها به هم وصل شوند. 8- با الگوسازی و حکاکی فلز اضافی را حذف میکنیم و از اتصال کوتاه شدن جلوگیری می کنیم.

امروز به ما بپیوندید

مکانیک کوانتومی و روش های آن در شبیه سازی مواد

همین الان یادگیری را شروع کنید

دیدگاه کاربران(0)

ارسال دیدگاه

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

*
*